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無錫無塵車間裝修為什么要控制凈化車間的溫濕度?

發(fā)布時(shí)間:2022-07-29 11:54:25點(diǎn)擊:

無錫無塵車間裝修為什么控制凈化車間的溫濕度?

為什么凈化車間要控制溫濕度?主要功能是什么,具體措施是什么?

無錫無塵車間裝修凈化車間的溫度和濕度主要根據(jù)您的加工工藝要求確定。在滿足加工工藝的條件下,首選應(yīng)考慮人們的舒適性。隨著空氣清潔度要求的提高,工藝對溫濕度的要求越來越高,必須達(dá)到一定的溫濕度水平。例如,在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光過程中,玻璃和硅片的熱膨脹系數(shù)要求越來越小。直徑100um硅片,溫度上升1度,導(dǎo)致0.24um因此,必須有線性膨脹±0.恒溫1度,濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊购髸?huì)污染產(chǎn)品,尤其是怕鈉的半導(dǎo)體車間,不宜超過25度。濕度過高會(huì)導(dǎo)致更多的問題。當(dāng)相對濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁會(huì)結(jié)露。如果發(fā)生在精密裝置或電路中,會(huì)造成各種事故。相對濕度在50%時(shí)容易生銹。

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然而,對于大多數(shù)清潔空間,為了防止外部污染,內(nèi)部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。壓差的維護(hù)一般應(yīng)符合以下原則:

1.清潔度高的空間壓力高于相鄰清潔度低的空間壓力。

2.相通潔凈室之間的門應(yīng)開向潔凈度高的房間。

無錫無塵車間裝修清潔空間的壓力高于非清潔空間。

壓差的維持取決于新風(fēng)量,可以補(bǔ)償壓差下從縫隙泄漏的風(fēng)量。因此,壓差的物理意義是通過潔凈室各種縫隙泄漏(或滲透)風(fēng)量的阻力。

對于亂流潔凈室,主要依靠空氣稀釋來減少室內(nèi)污染,主要采用通風(fēng)次數(shù)的概念,而不是直接采用速度的概念,但對室內(nèi)氣流速度也有以下要求;

1.出風(fēng)口的氣流速度不宜過大。與簡單的空調(diào)房間相比,速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。

2.吹過水平面的氣流速度(如側(cè)送時(shí)的回流速度)不宜過大,以免吹起表面顆粒重返氣流,造成再污染。這個(gè)速度一般不應(yīng)該。.2m/s。

在我國,《空氣清潔技術(shù)措施》和范潔工廠的設(shè)計(jì)規(guī)定都是這樣的

垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s

水平行流(層流)潔凈室≥0.35m/s


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